全芯智造取得用于光源掩模优化的专利，提高了 SMO 的处理效率
发布时间：2024-08-22 16:19:42
2024 年 8 月 21 日消息，天眼查知识产权信息显示，全芯智造技术有限公司取得一项名为“用于光源掩模优化的方法、设备和介质“，授权公告号 CN118092068B，申请日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显示，根据本公开的示例实施例提供了用于光源掩模优化的方法、设备和介质。该方法包括：获取包括多个掩模图形的掩模版图和光源的信息；通过光刻仿真，生成利用掩模版图和光源在晶圆上形成的多个晶圆图形，多个晶圆图形分别对应于多个掩模图形；确定与多个晶圆图形的形成相关联的成像成本；以及基于成像成本，通过改变多个掩模图形中的至少一个掩模图形的目标尺寸，确定光源的目标照明模式和掩模版图。以此方式，无需对目标尺寸进行人工调整，提高了 SMO 的处理效率。
（责编： admin）
免责声明：本文为转载，非本网原创内容，不代表本网观点。其原创性以及文中陈述文字和内容未经本站证实，对本文以及其中全部或者部分内容、文字的真实性、完整性、及时性本站不作任何保证或承诺，请读者仅作参考，并请自行核实相关内容。
如有疑问请发送邮件至：goldenhorseconnect@gmail.com
- 沪深300房地产指数下跌3.42%，前十大权重包含招商蛇口等2024-08-28
- 中证原材料指数下跌0.78%，前十大权重包含盐湖股份等2024-08-28
- 宁波半岛家居有限公司8月27日新增投诉，消费者要求退货，退赔费用，赔偿损失2024-08-28
- 水星家纺(603365.SH)：上半年净利润1.46亿元，同比下降13.89%2024-08-28
- 济南天普教育咨询有限公司8月27日新增投诉，消费者要求退赔费用2024-08-28
- 北京海欣体育发展有限公司8月27日新增投诉，消费者要求退赔费用2024-08-28
- 邮储银行8月27日创一年新高，盘中最高触及5.22元2024-08-28
- 上海格物致品网络科技有限公司8月27日新增投诉，消费者要求退赔费用，退货2024-08-28
- 移动总公司8月27日新增投诉，消费者要求赔偿损失2024-08-28
- 美农生物：拟投资建设10万吨玉米蛋白精加工项目2024-08-28
