全芯智造取得用于光源掩模优化的专利，提高了 SMO 的处理效率
发布时间：2024-08-22 16:19:42
2024 年 8 月 21 日消息，天眼查知识产权信息显示，全芯智造技术有限公司取得一项名为“用于光源掩模优化的方法、设备和介质“，授权公告号 CN118092068B，申请日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显示，根据本公开的示例实施例提供了用于光源掩模优化的方法、设备和介质。该方法包括：获取包括多个掩模图形的掩模版图和光源的信息；通过光刻仿真，生成利用掩模版图和光源在晶圆上形成的多个晶圆图形，多个晶圆图形分别对应于多个掩模图形；确定与多个晶圆图形的形成相关联的成像成本；以及基于成像成本，通过改变多个掩模图形中的至少一个掩模图形的目标尺寸，确定光源的目标照明模式和掩模版图。以此方式，无需对目标尺寸进行人工调整，提高了 SMO 的处理效率。
（责编： admin）
免责声明：本文为转载，非本网原创内容，不代表本网观点。其原创性以及文中陈述文字和内容未经本站证实，对本文以及其中全部或者部分内容、文字的真实性、完整性、及时性本站不作任何保证或承诺，请读者仅作参考，并请自行核实相关内容。
如有疑问请发送邮件至：goldenhorseconnect@gmail.com
- 食品ETF盘中资讯|白酒龙头大面积走强，食品ETF（515710）盘中上探1.15%！主力资金大举加码2024-08-29
- 德邦基金三年后的错误更正，今年多次信披出错2024-08-29
- 一言不合就“分家”？私募分家案例多，为何今年债券私募特别多？2024-08-29
- 8月28日东方红启元三年持有混合B净值增长0.05%，近1个月累计下跌4.37%2024-08-29
- 8月28日南方荣光A净值增长0.06%，今年来累计上涨2.7%2024-08-29
- 8月28日易方达宁易一年持有混合A净值下跌0.01%，近3个月累计下跌0.87%2024-08-29
- 8月28日交银恒益灵活配置混合C净值增长0.01%，近6个月累计下跌0.12%2024-08-29
- 8月28日大成消费主题混合C净值下跌0.03%，近3个月累计下跌15.2%2024-08-29
- 8月28日招商瑞阳混合C净值下跌0.02%，近3个月累计下跌7.39%2024-08-29
- 8月28日招商先锋混合净值下跌0.02%，近3个月累计下跌7.06%2024-08-29
