北方夜视申请低电阻温度系数高稳定性微通道板及其制备方法专利，显著拓展微通道板的温度使用区间并提高使用过程中的增益、噪声的稳定性
发布时间：2024-08-22 19:13:34
2024 年 8 月 21 日消息，天眼查知识产权信息显示，北方夜视技术股份有限公司申请一项名为“低电阻温度系数高稳定性微通道板及其制备方法“，公开号 CN202410455843.4，申请日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显示，本发明提供一种低电阻温度系数高稳定性微通道板及其制备方法，该方法在完全绝缘的微孔阵列基片上，使用原子层沉积技术制备电阻层和发射层使之具备电子倍增能力，形成微通道板。电阻层采用铂掺杂氧化铝的复合膜层，通过膜层制备循环过程中的通水和臭氧的处理，提高羟基的密度，增强金属源化学吸附，实现高密度的金属纳米颗粒，实现电阻层的高可调控性，制作出低电阻温度系数的复合膜层，实现低电阻温度系数高稳定性微通道板，能够抑制常规微通道板低温下体电阻显著增大导致带电流补充不足的问题以及低体电阻微通道板高温下体电阻显著降低导致热溃溢问题，显著拓展微通道板的温度使用区间并提高使用过程中的增益、噪声的稳定性。
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