气相沉积原理：化学气相沉积技术是应用气态物质在固体上阐述化学反应并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含形成挥发性物质 ；把上述物质转移至沉积区域 ；在固体上产生化学反应并产生固态物质 。
应用：该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。
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